| 製 品 名 | 使 用 目 的 | 資 料 |
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| クリーンエアブース | 局所的なクリーン化や、クリーンルーム内での局所高清浄化を行う装置 |  |
| クリーンエアユニット | クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。 中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。 |
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| 簡易型クリーンベンチ | クリーンルーム内での局所的な高清浄度化を容易な設置で行う装置 | |
| 垂直フロー型クリーンベンチ | クリーンルーム内での局所的な高清浄度化を容易な設置で行う装置 | |
| パスボックス | クリーンルームの清浄区域と非清浄区域の境界に設置し、 汚染空気の流入を最小限にする装置 |
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| 水槽付きパスボックス | クリーンルームの清浄区域と非清浄区域の境界に設置し、 汚染空気の流入を最小限にする装置 |
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| エアシャワー | クリーンルームの出入り口に設置し、作業者の付着物をクリーンエアで除去します。 | |
| 外気処理ユニット | クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。 中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。 |
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| ドラフトチャンバー | 有害な気体、微生物、揮発性の有害物質など化学実験などで安全のために用いる 局所排気装置です。 |
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