エアシャワー
クリーンルームの出入り口に設置し、作業者の付着物をクリーンエアで除去します。
クリーンルームの出入り口に設置し、作業者の付着物をクリーンエアで除去します。
グローブボックス
外気と遮断された状況下で作業が可能となるように、内部に手だけが入れられるよう設計された密閉容器です。
外気と遮断された状況下で作業が可能となるように、内部に手だけが入れられるよう設計された密閉容器です。
クリーンベンチ
クリーンルーム内での局所的な高清浄化を容易な設置で行う装置です。
クリーンルーム内での局所的な高清浄化を容易な設置で行う装置です。
クリーンブース
局所的なクリーン化や、クリーンルーム内での局所高清浄化を行う装置です。
局所的なクリーン化や、クリーンルーム内での局所高清浄化を行う装置です。
ドラフトチャンバー
有害な気体、微生物、揮発性の有害物質など化学実験などで安全のために用いる局所排気装置です。
有害な気体、微生物、揮発性の有害物質など化学実験などで安全のために用いる局所排気装置です。
パスボックス
クリーンルームの清浄区域と非清浄区域の境界に設置し、汚染空気の流入を最小限にする装置です。
クリーンルームの清浄区域と非清浄区域の境界に設置し、汚染空気の流入を最小限にする装置です。
外気処理ユニット
クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。
クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。
クリーンエアユニット
クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。
クリーンルームへ外気を取り入れる装置です。中性能フィルタによりほとんどの埃（1μm以上）は除去されます。
フィルターチャンバー
不溶性ガス・有機溶剤や悪臭を粒状活性炭で除去する装置です。
不溶性ガス・有機溶剤や悪臭を粒状活性炭で除去する装置です。